大口径离轴长条形反射镜的检测支撑机构

• 作者: 任建岳 张星祥 杨帅 沙巍 陈长征
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 离轴长条形反射镜 检测支撑 面形误差 集成仿真与优化 离轴三反相机
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2835-2842
• 页数: 8页
• 分类号: TH703|V447.3
• 字数: 2670字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152310.2835

摘要

针对大口径离轴长条形反射镜光轴水平向检测的需要,设计了一套检测支撑结构.优化了结构参数,实现了由支撑结构引起的镜面面形误差最小化.通过比较长条形反射镜光轴水平向检测支撑的级联多点支撑结构,选择了结构简单、扩展性和调整性优良的两点单层固定支撑结构.利用集成仿真与优化方法,分析计算反射镜镜面面形误差随支撑间隔的变化趋势,确定了最优支撑间隔.最后,利用干涉仪结合补偿器的检测方式,对不同支撑间隔工况下镜面面形进行检测,验证了仿真分析的可靠性.结果表明:在支撑间隔为564 mm时,由检测支撑引起的镜面面形误差最小(RMS=8.26 nm),干涉检测得到的镜面面形误差随支撑间隔的变化趋势与仿真得到的趋势相符,仿真结果可靠性高.提出的方法可实施性好,可推广到其他大口径离轴长条形反射镜的设计和检测中,为离轴三反(TMA)相机的设计提供技术基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任建岳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	127	1431	23.0	31.0
2	陈长征	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	40	351	11.0	17.0
3	张星祥	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	53	504	14.0	20.0
4	沙巍	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	26	199	8.0	13.0
5	杨帅	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	19	115	7.0	10.0