催化热氢化法制备三氯氢硅研究进展

• 作者: 刘颖颖 周齐领 唐思扬 尹渠军 梁斌 黄韬
• 来源期刊: 工业催化
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体材料 多晶硅 四氯化硅 三氯氢硅 催化热氢化
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 综述与展望
• 页码范围: 8-14
• 页数: 7页
• 分类号: TQ426.94|TN304.1+2
• 字数: 6176字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1143.2015.01.002

摘要

四氯化硅加氢制备三氯氢硅是新一代多晶硅生产技术中实现副产物四氯化硅变换循环再利用而减少污染的重要手段。在围绕该反应的众多工艺方案中，催化热氢化法能耗低、选择性高，逐渐受到研究者的重视。国内外研究用于催化热氢化法的催化剂主要包括过渡金属类催化剂、碱土金属催化剂和耐高温腐蚀含硅多孔陶瓷。常用加氢类过渡金属催化体系表现出良好的活性，碱土金属催化剂选择性较高、化学性质更稳定。而制约催化热氢化法的问题主要表现在高纯多晶硅生产对于杂质的极低容忍度、苛刻的反应环境以及活性位吸附含氯产物造成单程转化率降低。开发耐高温、抗腐蚀、反应条件下物化性质稳定并易于脱附产物的热氢化催化剂是催化热氢化法发展的主要方向。综述了近年来国内外对于用在催化热氢化法中的各类催化剂的研究进展，并对存在的问题和前景进行分析与展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁斌	四川大学化工学院	149	1562	21.0	33.0
2	黄韬	四川大学化工学院	23	160	7.0	12.0
3	尹渠军		7	31	3.0	5.0
4	刘颖颖	四川大学新能源与低碳技术研究院	15	137	4.0	11.0
5	唐思扬	四川大学化工学院	18	15	2.0	2.0
6	周齐领		4	28	3.0	4.0