微细电解加工用中空电极的制备

• 作者: 刘国栋 周凯 孔全存 李勇
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微细电解加工 中空电极 制备工艺 流动仿真 微细孔 微细槽
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2810-2818
• 页数: 9页
• 分类号: TG662
• 字数: 4950字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152310.2810

摘要

为了改进加工间隙内电解产物的排出条件和加速电解液的更新,提出了一种嵌套式微细中空电极的精确可控焊接制备工艺.仿真分析了电极的过流特性,优化了电极长度,并进行了性能测试及加工实验.通过穿丝、黏结、嵌套尺寸及位置调整和焊接工序,制备出加工段内径为65μm、外径为130 μm、长3.25 mm左右,后段便于装夹和连通的嵌套式中空电极.在供液压力为1.15 MPa时,其出口流速可达i0 m/s左右.利用制备的中空电极,开展微细孔电解加工实验,在0.5 mm厚不锈钢片上加工出最小入口孔径约为157 μm,出口孔径约为133 μm的微细孔,并将其延伸应用于微结构加工中,铣削出了长554 μm、宽160μm、深224 μm的微细T型槽.实验结果表明:制备的微细中空电极有效提高了加工间隙内电解液的流动特性,且连/导通可靠、装夹方便,适用于高深宽比微结构的电解加工.