SIW交指带通滤波器的设计与仿真

• 作者: 李志刚 欧文 欧毅 翟琼华 薛晨阳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 带通滤波器 基片集成波导 交指型 抽头式 MEMS
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 1379-1383
• 页数: 5页
• 分类号: TN603.5
• 字数: 2054字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.09.019

摘要

介绍了一种双层SIW带通滤波器,两层之间采用交指结构实现谐振,输入输出采用共面波导形式.所设计的毫米波滤波器芯片尺寸仅有7 mm×3.5 mm×0.8 mm,使用三维高频电磁仿真软件对该结构进行仿真和优化,结果表明滤波性能符合设计要求:中心频率10.6 GHz、带宽2.5 GHz、带内插损2 dB.最后阐明了基于MEMS技术的该滤波器的工艺制作流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛晨阳	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	136	765	14.0	21.0
2	李志刚	中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心	103	1906	24.0	41.0
3	欧毅	中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心	17	77	5.0	7.0
4	欧文	中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心	27	81	6.0	7.0
5	翟琼华	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	4	1.0	2.0