微球表面形貌检测中的偏心误差分析与修正

• 作者: 刘国栋 刘炳国 卢丙辉 孙和义 陈凤东
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 表面形貌检测 微球 偏心误差 Zernike多项式拟合
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2794-2802
• 页数: 9页
• 分类号: TH703|TB92
• 字数: 3948字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152310.2794

摘要

由于使用传统的误差修正方法进行微球形貌检测会有过大的残差,本文提出了一种新的偏心误差修正方法来提高微球表面形貌检测的精度和效率.在分析了横向偏心和轴向偏心引入光程差数学模型的基础上,推导了偏心误差的高阶近似模型,提出了小曲率半径下基于Zernike多项式拟合的偏心误差修正方法,并给出误差修正的流程及相关参数的标定方法.通过对2 mm直径的微球的表面形貌检测验证了所提出误差修正方法的可行性和有效性.结果表明:相对于零条纹时的形貌误差基准,采用本文提出的方法修正后的残余形貌误差峰谷(PV)值为0.081 5λ,均方根(RMS)值为0.016 1λ,比传统方法修正效果更好,能够满足高精度微球形貌检测的需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘国栋	哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院	79	1002	15.0	28.0
2	刘炳国	哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院	23	197	9.0	13.0
3	孙和义	哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院	29	235	9.0	14.0
4	陈凤东	哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院	24	423	12.0	20.0
5	卢丙辉	哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院	5	15	3.0	3.0