抗过载片上集成MEMS悬浮螺旋电感

• 作者: 卢冲赢 徐立新 李建华 武浩
• 来源期刊: 科技导报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 悬浮螺旋电感 阶梯式螺旋线圈 过载
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 技术科学
• 页码范围: 57-61
• 页数: 5页
• 分类号: TN40
• 语种: 中文
• DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2015.05.008

摘要

针对微机电系统(MEMS)悬浮电感机械性能较差问题,设计了一种应用于高过载环境的片上集成MEMS悬浮螺旋电感.通过采用一种新颖的阶梯式螺旋线圈结构,有效减小了悬浮线圈在高过载环境中的变形与应力.利用ANSYS和HFSS软件对设计的电感力学性能和射频性能进行联合仿真.仿真结果表明,采用阶梯式螺旋线圈的MEMS悬浮电感的抗过载能力比采用等截面线圈的传统MEMS悬浮电感提高了近3倍,并且具有相当的射频性能;与增加了支撑柱的等截面MEMS悬浮电感相比,所设计的MEMS悬浮电感具有与之相当的力学性能,但是其射频性能明显优于增加了支撑柱的电感.