Bow型硅微加工缺陷对动压气体轴承动态特性的影响?

• 作者: 刘玉德 张小青 熊光洁 王晓力 石文天
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 微气体轴承 加工缺陷 稳定性 稀薄效应 Power MEMS
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 页码范围: 29-36
• 页数: 8页
• 分类号: TH117.2
• 字数: 2997字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2015.12.006

摘要

受硅微加工技术的限制，微气体润滑径向轴承经常产生Bow型加工缺陷，带来气膜厚度沿轴向的不一致性。将存在Bow型加工缺陷的动压气体轴承的膜厚方程与超薄气膜润滑理论相结合，推导同时考虑硅微加工缺陷及稀薄气体效应的微气体轴承润滑方程，并采用Newton?Raphson方法进行求解。用“简正模”法推导系统的动特性系数及稳定性的求解模型，探讨硅微加工缺陷对轴承润滑特性及动力学特性的影响规律。结果表明，侧壁Bow型加工缺陷使得气膜中的压力分布变得平坦，降低系统的承载能力和气膜刚度，使临界质量曲线整体上移，增大轴承维持稳定运转所需的最小偏心率；此外，大偏心率时存在Bow型缺陷的轴承的高速性能差，增大轴承数有可能造成系统失稳，且缺陷程度越大，影响越明显。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊光洁	北京工商大学材料与机械工程学院	38	262	9.0	14.0
2	刘玉德	北京工商大学材料与机械工程学院	94	624	14.0	21.0
3	王晓力	北京理工大学机械与车辆学院	32	116	6.0	9.0
4	石文天	北京工商大学材料与机械工程学院	38	218	9.0	13.0
5	张小青	北京工商大学材料与机械工程学院	6	11	3.0	3.0