辉光放电辅助脉冲激光沉积CNx涂层工艺

• 作者: 宋建强 张青 郑晓华 陈传胜
• 来源期刊: 电镀与涂饰
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮化碳涂层 脉冲激光沉积 辉光放电 氮含量 摩擦因数 磨损率
• 年，卷（期）: 2015,（15）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 851-855
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3251字
• 语种: 中文

摘要

采用直流辉光放电辅助PLD(脉冲激光沉积)法制备了CNx涂层,通过正交试验研究了气压、激光通量、放电功率密度和靶基距等工艺参数对CNx涂层的氮含量、摩擦因数和磨损率的影响,利用扫描电镜(SEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)和球-盘式微型摩擦仪对涂层的表面形貌、化学成分以及摩擦学特性进行了表征.结果表明,辉光放电辅助PLD制备的CNx涂层比传统PLD涂层光滑,且工艺参数对涂层表面形貌的影响较小.激光通量对涂层的氮含量、摩擦因数和磨损率的影响较为显著,放电功率密度的影响最小.涂层的耐磨性随涂层氮含量的升高而降低.当气压为12 Pa、激光通量为6.7 J/cm2、放电功率密度为30 mW/cm2和靶基距为37 mm时,涂层中氮原子分数为32.2％,沉积速率为0.83 μm/h,摩擦因数为0.122,磨损率为1.13×10-13 m3/(N.m).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑晓华	浙江工业大学材料科学与工程学院	35	161	7.0	10.0
2	陈传胜	安徽职业技术学院机械工程系	24	42	3.0	5.0
3	张青	安徽职业技术学院机械工程系	7	15	2.0	3.0
4	宋建强	浙江工业大学材料科学与工程学院	5	7	2.0	2.0