S波段网格型FBAR滤波器的研制

• 作者: 李丽 李宏军 申晓芳
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器 芯片 网格型结构 宽带 巴伦
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 半导体器件
• 页码范围: 369-373
• 分类号: TN713|TN75
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2015.05.010

摘要

介绍了一种单端口,端口阻抗为50 Ω的S波段宽带薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器,该滤波器采用网格型结构的FBAR滤波器芯片级联巴伦芯片实现.对宽带FBAR滤波器芯片的设计过程、工艺实现过程进行了说明.采用0.35 μm GaAs工艺实现了3～8 GHz频率范围的巴伦芯片,在FBAR滤波器芯片的中心频率处,幅度不平衡度为0.53 dB,相位不平衡度为0.55°.制备的FBAR滤波器通带频率范围为3 100～3 400 MHz,1 dB带宽约为369 MHz,在2 660 MHz和3 840 MHz处带外抑制分别为45.6 dBc和41.3 dBc,尺寸仅为12 mm×7 mm×2.9 mm.将实测结果与仿真结果进行了对比,两者一致性很好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宏军	中国电子科技集团公司第十三研究所	22	53	5.0	7.0
2	李丽	中国电子科技集团公司第十三研究所	27	94	6.0	9.0
3	申晓芳	中国电子科技集团公司第十三研究所	1	4	1.0	1.0