用于射频集成的高Q硅基电感的优化设计

• 作者: 万里兮 于大全 任晓黎 曹立强 潘杰 王惠娟
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 硅上电感 趋肤效应 射频系统集成 电磁仿真
• 年，卷（期）: 2015,（18）
• 所属期刊栏目: 电子元器件设计与应用
• 页码范围: 106-109
• 页数: 4页
• 分类号: TN702-34
• 语种: 中文

摘要

采用理论分析与电磁仿真结合的方法,对硅上多层金属构成的螺旋电感进行电性能研究,优化并获得一种适用于射频电路集成的硅基射频高Q电感.对于影响电感Q值的多种损耗机制,重点研究了趋肤效应对电感的影响.并通过结构参数及金属层叠优化后,硅上电感的Q值可以达到60以上,自谐振频率可以达到10 GHz以上,可以较好地应用于射频系统中的滤波选频及匹配等网络.