溅射气压对Li-W共掺杂ZnO薄膜性能的影响

• 作者: 刘细妹 张志明 张效华 徐斌 胡跃辉 陈义川
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Li-W共掺杂 溅射气压 ZnO薄膜
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 12-17
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.01.03

摘要

通过RF磁控溅射在不同溅射气压环境中,在石英衬底上制备得到Li-W共掺杂ZnO薄膜(LWZO).对样品进行X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透过率以及电阻率的测试.结果表明:适当溅射气压环境下,有助于提高LWZO薄膜的结晶质量;SEM结果显示随着溅射气压增加LWZO薄膜表面晶粒粒径更小,表面更平整;薄膜的透光率保持在85％左右.光致发光光谱表明:LWZO的光致发光由本征发光及缺陷发光组成,结晶度高以及择优取向好,本征发光强度强.同时,薄膜的最低电阻率也达到了6.9×10-3Ωcm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张效华	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	25	69	5.0	7.0
2	胡跃辉	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	54	127	6.0	8.0
3	陈义川	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	38	96	6.0	7.0
4	刘细妹	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	11	28	4.0	5.0
5	徐斌	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	10	28	4.0	5.0
6	张志明	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	10	24	3.0	4.0