新型AFM原子分辨率导电探针技术研究

• 作者: 刘俊 唐军 张欢 李艳君 石云波 薛晨阳 谢艳娜 马宗敏
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 导电薄膜 Si探针 原子分辨率 磁交换力显微镜
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 表面质量控制及检测 Surface Quality Control and Detection
• 页码范围: 115-118
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444|TH742
• 字数: 2015字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.02.022

摘要

目的：制备新型导电探针,解决目前探针针尖曲率半径较粗、饱磁力大、调频困难、不容易得到高分辨图像等问题。方法向Si探针针尖蒸镀导电金属薄膜得到导电薄膜Si探针,镀Fe薄膜厚度约为几纳米,同时保证探针的曲率半径约10 nm。利用透射电镜观察和超高真空原子力显微镜扫描镀膜前后探针NaCl(001)表面,分析其性能。结果自制的Fe薄膜Si探针由于蒸镀了金属薄膜,探针针尖性能稳定,Si探针扫描效果的悬挂键影响被消除,同时提高了系统的扫描分辨率。结论导电薄膜Si探针能够充分利用现有的仪器设备进行实验,具有造价低、使用简单、性能稳定等优点,可以作为将来磁交换力显微镜( MExFM)的磁性探针来测试材料的表面磁信息。