基于多目标决策方法的反应离子刻蚀机约束环优化设计研究

• 作者: 武园浩 段文睿 王占松 田凌
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 刻蚀腔室 约束环 气流仿真 多目标优化 非劣解集 多目标决策
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 89-99
• 分类号: TN405.98|TB71.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.01.17

摘要

从反应离子刻蚀设备腔室内部结构细节角度出发,研究腔室约束环对以450 mm为代表大晶圆尺寸刻蚀机流场影响.与同类研究相比,本文旨在突出研讨仿真模型的精确性与边界条件比较设置准则的重要性.本文首先介绍刻蚀机腔窒约束环的结构及其功能并提出高精度粘度修正的实现方法并计算腔室流体气压分布.提出了腔室气压分布的多目标问题,采用遗传算法求解,并通过多目标决策对优化结果进行评价和排序,得到最适合的优化结果.最后,给出约束环设计结果并得出约束环可以优化腔室内气流分布轮廓的结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田凌	清华大学机械工程系制造工程研究所	76	1094	17.0	30.0
2	王占松	清华大学机械工程系制造工程研究所	3	52	3.0	3.0
3	武园浩	清华大学机械工程系制造工程研究所	8	8	2.0	2.0
4	段文睿	清华大学机械工程系制造工程研究所	5	34	2.0	5.0