MOPA结构准分子激光系统的同步控制

• 作者: 张铄 李皙茹 梁勖 钱小东 鲍健
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 同步控制 同步逻辑 粗调延时 细调延时
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 233-236
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.2
• 字数: 2293字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.02.019

摘要

为了使主振荡功率放大结构的ArF准分子激光器实现双腔同步放电,采用同步逻辑快速响应双腔放电时序,根据同步控制逻辑自动对双腔延时进行精密调节,使用四位二进制计数器实现粗调搜索,快速缩小双腔延时差,而使用通用数字可编程延时芯片来实现小精度延时调节.结果表明,双腔放电同步调节之后,放电时差稳定在23ns左右,同步抖动小于±3ns,满足4kHz高重复频率下主振荡功率放大结构准分子激光器同步控制的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁勖	中国科学院安徽光学精密机械研究所	27	113	6.0	9.0
2	鲍健	中国科学院安徽光学精密机械研究所	17	110	5.0	10.0
3	李皙茹	中国科学院安徽光学精密机械研究所	7	22	2.0	4.0
4	钱小东	中国科学院安徽光学精密机械研究所	5	8	2.0	2.0
5	张铄	中国科学院安徽光学精密机械研究所	3	22	2.0	3.0