0-3法制备PZT厚膜及其性能研究

• 作者: 任伟 李俊红 汪承灏 赵修臣
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: PZT厚膜 0-3法 结晶温度 粗糙度
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 页码范围: 1551-1556
• 页数: 6页
• 分类号: TB34
• 字数: 2870字
• 语种: 中文

摘要

采用0-3复合法制备PZT(PbZr0.52Ti0.48O3)厚膜,通过陈化、静置、去除沉淀颗粒、浓缩等方法改良了浆料配制工艺,大大改善了厚膜的表面粗糙度,制备出适于微压电换能器使用的PZT厚膜.采用单层退火的方式对厚膜进行了结晶热处理,研究了不同结晶温度对厚膜性能的影响.结果表明:改良的浆料配制工艺,明显降低了厚膜的表面粗糙度,大大改善了表面形貌;随着热处理温度的升高,厚膜的晶粒尺寸变大,剩余极化变大,矫顽场变小,粗糙度有增大的趋势;当结晶温度为700℃时,剩余极化达到15μC/cm2,矫顽场为30.5 kV/cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李俊红	中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室	30	72	5.0	8.0
2	汪承灏	中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室	44	387	10.0	19.0
3	任伟	中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室	21	73	5.0	8.0
4	赵修臣	北京理工大学材料学院	33	168	6.0	12.0