大批量微细刀具HFCVD涂层制备的温度场仿真与试验分析

• 作者: 孙方宏 宋波 沈彬 程雷 雷学林
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 微细刀具 金刚石涂层 温度场优化
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 166-173
• 分类号: TQ164|TG71
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.02.08

摘要

采用热丝化学气相沉积法制备金刚石涂层微细刀具的过程中,刀具表面温度场分布的均匀性与稳定性对金刚石涂层的质量具有决定性的作用.本文采用有限容积法,对微细刀具表面沉积金刚石涂层过程中的温度场分布进行了仿真研究,采用Taguchi正交试验法考察了热丝直径d、热丝高度H、热丝间距D以及热丝长度L对温度场均匀性的影响,并获得了最优参数组合,即d=0.65 mm,H=12 mm,D=27 mm以及L=160 mm.对比仿真与实际测温试验结果,发现两者之间的偏差不超过4％,验证了仿真模型具有较高精度.采用仿真获得最优参数进行的沉积实验结果表明,放置在沉积区域不同位置的微细刀具表面均被涂覆了一层厚度均匀、组织结构良好的金刚石涂层,从而验证仿真结果的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙方宏	上海交通大学机械与动力工程学院	91	969	17.0	25.0
2	沈彬	上海交通大学机械与动力工程学院	69	959	17.0	27.0
3	雷学林	上海交通大学机械与动力工程学院	3	10	2.0	3.0
4	宋波	上海交通大学机械与动力工程学院	12	138	5.0	11.0
5	程雷	上海交通大学机械与动力工程学院	2	7	1.0	2.0