直边衍射激光驻波场中铬原子的沉积特性研究

• 作者: 张文涛 肖宇馨
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光光学 衍射效应 龙格-库塔算法 高斯光束
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 激光物理与激光器件
• 页码范围: 215-219
• 页数: 5页
• 分类号: O436
• 字数: 2311字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.02.015

摘要

为了研究沉积基片对激光驻波场的影响,基于半经典理论,采用4阶龙格-库塔算法对直边衍射效应影响下铬原子的3维运动轨迹和3维沉积条纹结构进行了仿真.研究了激光束腰中心到反射镜的距离、高斯激光束腰半径对最终沉积过程的影响.结果表明,通过适当地调节实验参量,可以改变激光驻波场受到衍射效应的程度;当反射镜位于激光束腰截面处、高斯激光束腰半径为62.5 μm时,纳米沉积条纹的质量最理想.这将为原子光刻实验提供有益的理论依据和数据信息.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文涛	桂林电子科技大学电子工程学院	105	506	10.0	18.0
2	肖宇馨	桂林电子科技大学电子工程学院	2	0	0.0	0.0