牺牲层二维腐蚀修正模型的研究?

• 作者: 俞佳佳 吉新村 方玉明 蒋文涛
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 牺牲层腐蚀 二维腐蚀模型 扩散系数 计算机模拟
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 809-813
• 页数: 5页
• 分类号: TN402
• 字数: 3169字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.06.006

摘要

针对氢氟酸腐蚀氧化硅，深入研究了牺牲层腐蚀的原理。牺牲层腐蚀主要受扩散机制影响。把二维扩散方程中的扩散系数看作溶液浓度和温度的函数，建立了二维腐蚀修正模型。利用有限差分算法求解扩散方程，并使用C语言编程实现了对单开口、内外拐角等多种复杂组合结构腐蚀过程的模拟，使用MATLAB软件绘制腐蚀图形，最后将模拟结果与实验结果进行了对比，验证了模型的合理性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方玉明	南京邮电大学电子科学与工程学院	52	140	6.0	8.0
2	吉新村	南京邮电大学电子科学与工程学院	14	24	3.0	3.0
3	俞佳佳	南京邮电大学电子科学与工程学院	2	4	2.0	2.0
4	蒋文涛	南京邮电大学电子科学与工程学院	2	4	2.0	2.0