氮氧化硅/聚合物混合集成低功耗可变光衰减器

• 作者: 宋倩倩 陈开鑫 雷建平
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 可变光衰减器 热光原理 混合集成 氮氧化硅 聚合物 S弯曲波导
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 光学器件
• 页码范围: 70-75
• 分类号: TN256
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20154406.0623003

摘要

利用具有相反热光特性的氮氧化硅与聚合物材料,采用混合集成波导结构设计了一种低功耗S型可变光衰减器.该衰减器以聚合物为芯层材料,氮氧化硅为包层材料,在弯曲波导上方制作加热电极从而通过热光效应来实现可调谐的衰减功能.理论分析表明,对于1.55 μm的工作波长,衰减器实现50 dB的衰减仅需要3.6 mW.的功率.实验结果可实现0～40 dB的衰减范围,相应的最大温度变化为70.4℃,器件插入损耗为5.4 dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈开鑫	电子科技大学通信与信息工程学院	12	27	3.0	4.0
2	宋倩倩	电子科技大学通信与信息工程学院	2	2	1.0	1.0