高分辨扫描透射电子显微镜原理及其应用

• 作者: 丁立鹏 贾志宏 陈厚文
• 来源期刊: 物理
• 关键词: 扫描透射电子显微镜 高角环形暗场像 X射线能谱 电子能量损失谱
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 实验技术 Experimental Technology
• 页码范围: 446-452
• 页数: 7页
• 字数: 4812字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7693/wl20150704

摘要

扫描透射电子显微术是目前应用最广泛的电子显微表征手段之一，具有分辨率高、对化学成分敏感和图像直观易解释等特点。其中高分辨扫描电子显微镜可以直接获得原子分辨率的Z衬度像，结合X射线能谱(EDS)和电子能量损失谱(EELS)，可在亚埃尺度上对材料的原子和电子结构进行分析。文章简述了扫描透射电子显微镜的基本原理及其应用现状，重点论述了高角环形暗场(HAADF)和环形明场(ABF)像的成像原理、特征和应用。此外，文中还对原子尺度分辨率的X射线能谱及电子能量损失谱元素分析方法进行了简述。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾志宏	重庆大学材料科学与工程学院	13	186	6.0	13.0
2	陈厚文	重庆大学材料科学与工程学院	3	54	1.0	3.0
3	丁立鹏	重庆大学材料科学与工程学院	5	120	4.0	5.0