基于多时段MP CA的半导体蚀刻过程监测方法?

• 作者: 易辉 薄翠梅 陶栋琦
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多向主元分析 间歇过程 时段划分 故障监测 蚀刻过程
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 798-802
• 页数: 5页
• 分类号: TP393
• 字数: 3637字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.06.004

摘要

针对MPCA方法在具有多时段的间歇过程中的故障监测效果不佳的问题，提出一种新的多时段建模方法，首先根据各时间片上的主元个数不同，对过程进行模糊划分，然后利用K均值算法对样本数据聚类得到精确划分，最后按照划分结果在各阶段建立代表性统计分析模型对整个过程进行监控。将该方法用于半导体蚀刻过程的故障监测，并与MPCA方法进行了比较证明该方法具有良好的监控性能，能够及时准确及时的监测出引起产品质量发生变化的故障。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薄翠梅	南京工业大学自动化与电气工程学院	86	611	15.0	19.0
2	陶栋琦	南京工业大学自动化与电气工程学院	2	12	2.0	2.0
3	易辉	南京工业大学自动化与电气工程学院	16	66	4.0	8.0