铌酸锂晶体的研磨亚表面损伤深度

• 作者: 朱楠楠 朱永伟 李军 沈琦 郑方志
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 软脆晶体 铌酸锂晶体 固结磨料研磨 磨粒粒径 亚表面损伤深度
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 3387-3394
• 页数: 8页
• 分类号: O786|TN305.2
• 字数: 3284字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152312.3387

摘要

针对光学材料研磨过程引入的亚表面损伤层(SSD)深度对工件的抛光工序效率和表面质量的影响,探索了光学材料在研磨过程中的亚表面损伤规律.采用角度抛光的方法测量了软脆材料铌酸锂(LN)晶体的损伤层深度,分析了研磨方式、磨粒粒径和研磨压力对工件亚表面损伤层的影响规律.结果表明:研磨方式对损伤缺陷的影响最为显著,相同研磨条件下游离磨料研磨后的损伤层深度约为固结磨料研磨的3～4倍,游离磨料研磨后工件亚表面存在多处圆弧形裂纹,固结磨料研磨后主要显现细小裂纹和“人”字型裂纹;当磨粒粒径从W28下降到W14后,游离研磨的亚表面损伤层深度下降至原来的45％,而固结研磨的损伤层深度下降至30％;另外,研磨压力的降低有利于减小工件的亚表面损伤.该研究对LN晶体研磨方式及研磨工艺的选择具有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李军	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	69	660	16.0	22.0
2	朱永伟	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	128	1288	19.0	26.0
3	朱楠楠	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	6	51	4.0	6.0
4	沈琦	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	5	60	4.0	5.0
5	郑方志	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	3	40	3.0	3.0