基于QCM的不同形貌ZnO的湿敏性能研究

• 作者: 曹雯 段明 王虎 谢娟
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 石英晶体微天平 ZnO 湿敏性能
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 56-58,62
• 页数: 4页
• 分类号: TP274
• 字数: 2368字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2015)11-0056-03

摘要

通过水热法制备了粒状和片状两种不同形貌的ZnO,以这两种形貌的ZnO修饰QCM作为湿度传感器,结合饱和盐溶液法(相对湿度:11％～95％RH)和H2O分子在ZnO上的吸/脱附机制对此新型压电传感器的湿敏性能(线性度、响应时间和回复时间)进行评价和研究.实验结果表明:粒状ZnO修饰的QCM传感器相较于片状ZnO修饰的QCM传感器线性度更好,响应时间和恢复时间更短,且该型传感器在低湿条件(33％,55％ RH)恢复时间大于响应时间而在高湿条件(75％,85％,95％ RH)恢复时间小于响应时间.实验和理论研究说明:ZnO微观形貌对该型传感器湿敏性能至关重要,而H2O分子在ZnO上的吸/脱附机制决定了其恢复/响应时间随湿度变化的技术特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段明	西南石油大学化学化工学院	73	617	14.0	22.0
2	王虎	西南石油大学材料科学与工程学院	35	135	7.0	10.0
6	谢娟	西南石油大学材料科学与工程学院	21	121	6.0	10.0
7	曹雯	西南石油大学材料科学与工程学院	2	4	2.0	2.0