时分复用数字闭环电容式微加速度计接口电路

• 作者: 储宜兴 刘云峰 池保勇 董景新
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 交通运输
• 关键词: 电容式微加速度计 数字闭环 接口电路 Sigma Delta调制器 时分复用
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 3350-3356
• 页数: 7页
• 分类号: TH824.4|U666.1
• 字数: 2963字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152312.3350

摘要

为实现电容式微加速度计的数字输出闭环,设计了一种数字输出闭环ASIC(Application Specific Integrated Cir-cuit)接口电路,以降低电路输出噪声并提高测量量程.对已有的电容式微加速度计ASIC电路进行了改进,分时段在中间极板上加载差分电容读出信号和由脉宽调变(PWM)波控制的反馈信号,然后由控制器实现闭环,利用Sigma Delta调制器实现模数转换.通过分析差分电容读出电路和Sigma Delta调制器的原理和特性,建立了该数字输出闭环电容式微加速度计的模型,进行了系统的设计与仿真.实验结果表明,该数字输出闭环电容式微加速度计的噪声水平为9.6μg/√Hz,量程为±39.这些结果验证了时分复用方案的可行性和本文所提出模型的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	池保勇	清华大学微电子学研究所	40	271	9.0	15.0
2	董景新	清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	741	14.0	20.0
3	刘云峰	清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室	51	405	12.0	16.0
4	储宜兴	清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	3	1.0	1.0