改良西门子法生产电子级多晶硅质量影响因素分析

• 作者: 杨紫琪
• 来源期刊: 世界有色金属
• 学科: 工学
• 关键词: 改良西门子法 电子级多晶硅 质量
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 综合
• 页码范围: 64-65
• 页数: 2页
• 分类号: TN304.1
• 语种: 中文

摘要

随着改良西门子法生产多晶硅工艺技术的日趋成熟,提高多晶硅产品的质量,增强市场竞争力成为多晶硅企业生存与发展面临的重大课题.本文对制约电子级多晶硅质量的几类因素进行分析,为生产高质量多晶硅提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨紫琪		5	1	1.0	1.0