O～89°的金属二次电子发射系数的通式

• 作者: 仲坤 王祖松 谢爱根 陈云云
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 二次电子发射系数 比率 入射角 金属 通式
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 150-155
• 分类号: O462.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.02.05

摘要

根据二次电子发射的物理特性和过程,以θ角射入原子序数为Z的金属的每个原电子发射的二次电子数(δPEθZ)、原电子的入射能量(Wp0)、cosθ和参数y(θ,Z)之间的关系被推导出来了.根究实验结果,得出Wp0为2～ 10 keY的比率βθ、Wp0和cosθ之间的关系式.根据二次电子发射系数δθ和二次电子发射系数δ0之间的关系,Wp0为2～10 keV的δθ、δ0、背散射系数η0、背散射系数ηθ参数Y(θ,Z)、W0和cosθ之间的关系式(r)被推导出.根据r、实验结果、ηθ和η0的表达式,得出参数Y(θ,Z)、Z和θ之间的关系式.以δ0、η0、ηθ、cosθ的[1.08-0.59(θ/90)12](20/Z)0.07407次方、Wp0和cosθ为变量的Wp0为2～ 10keYδθ的通式被推导出.用该通式计算出来的二次电子发射系数与实验的铝、镍、铅和铍二次电子发射系数分别进行了比较.结果表明:推导的二次电子发射系数的通式可以用来估算Wp0为2～ 10 keV和θ为0～ 89°的二次电子发射系数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢爱根	南京信息工程大学物理与光电工程学院	20	51	4.0	6.0
2	仲坤	南京信息工程大学物理与光电工程学院	6	5	1.0	2.0
3	陈云云	南京信息工程大学物理与光电工程学院	11	32	3.0	5.0
4	王祖松	南京信息工程大学物理与光电工程学院	3	4	2.0	2.0