光刻机掩膜台微动台调平控制系统设计

• 作者: 何良辰 刘杨 刘洋 宋跃
• 来源期刊: 自动化与仪表
• 关键词: 三自由度调平控制 DSP TMS320C6414 掩膜台 光刻机
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 控制系统
• 页码范围: 36-40
• 页数: 5页
• 分类号: TP277
• 语种: 中文

摘要

考虑到光刻机微动台相对于硅片调平运动的快速性、准确性和稳定性的要求,提出了一种基于DSP与FPGA的三自由度调平控制系统设计和实现方法.以TI公司的DSPTMS320C6414芯片为主控制器,Altem公司的EP2S60F102014N为协控制器,设计了以EP2C5Q208C8N为可编程器件的信号采集模块、传感器模块和驱动电路等方面,并通过实验证明整个控制系统的稳定性、快速性和准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘洋	哈尔滨工业大学航天学院	131	784	15.0	21.0
2	刘杨	哈尔滨工业大学航天学院	55	317	11.0	15.0
3	何良辰	哈尔滨工业大学航天学院	4	7	2.0	2.0
4	宋跃	哈尔滨工业大学航天学院	6	7	2.0	2.0