新型大量程X-Y-θ三自由度栅式电容位移传感器设计?

• 作者: 余建平 卢科青 李欣 王文
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容位移传感器 大量程 三自由度 偏航角
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 357-362
• 页数: 6页
• 分类号: TH711
• 字数: 3816字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.03.011

摘要

提出实现大量程X-Y-θ三自由度位移测量的栅式电容位移传感器设计并分析其测量特性。考虑偏航角误差影响,建立典型直线型栅式电容位移传感器偏航角误差模型,分析偏航角误差对线性位移测量精度的影响。并依此提出X-Y-θ三自由度位移测量新方法,通过和差化积解耦算法分离偏航角误差对X-Y线性位移测量的影响,同时输出偏航角位移量。实验结果表明,所设计的传感器偏航角位移θ为0.2°,0.4°,0.8°和2.0°时,X-Y线性位移信号的非线性度维持在0.24%~0.62%之间,拟合输出偏航角位移信号的最大误差量不超过0.01°。三自由度位移量解耦效果明显,测量稳定性得到显著改善。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文	杭州电子科技大学机械工程学院	23	51	4.0	6.0
2	卢科青	杭州电子科技大学机械工程学院	16	33	4.0	5.0
3	余建平	衢州学院机械工程学院	6	18	3.0	4.0
4	李欣	衢州学院机械工程学院	5	18	3.0	4.0