基于光电检测的IC绑定压头系统设计

• 作者: 于桂阳 曹杰 朴炳仁 李恒滨 王榜 胡宇飞 金珍 陈贺
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 光电检测 IC绑定压头 平坦度检测 压头结构设计
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 信息技术
• 页码范围: 141-144
• 页数: 4页
• 分类号: TH165+.2
• 字数: 2264字
• 语种: 中文

摘要

TFT-LCD制造技术,涉及半导体加工,集成电路整合等多种技术.TFT-LCD制造设备的稳定性对提高产品品质、降低成本及提高生产率有较大影响.根据现有IC绑定压头调整平坦度方案,提出了改进方案,设计了压头的实时检测系统,对设计的压头系统进行了原理分析和实验标定方案设计.实验结果表明,自动调整平坦度压头系统能够满足应用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李恒滨		6	0	0.0	0.0
2	陈贺		1	0	0.0	0.0
3	金珍		1	0	0.0	0.0
4	王榜		1	0	0.0	0.0
5	胡宇飞		1	0	0.0	0.0
6	曹杰		1	0	0.0	0.0
7	于桂阳		1	0	0.0	0.0
8	朴炳仁		1	0	0.0	0.0