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差分电容硅微加速度计检测电路研究?
差分电容硅微加速度计检测电路研究?
作者:
徐林鹏
滕霖
王猛
王玉朝
肖鹏
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微加速度计
检测电路
差分电容
调制解调
摘要:
针对硅微加速度计中微小差分电容检测,提出了一种基于调制解调方法的闭环检测电路,介绍了该闭环检测系统的原理框图和实现途径。分析了基于单路载波的前置电容-电压( C-V)转换电路,证明了基于相关芯片的解调方法的有效性,其解调效率仅对开环输出有影响;基于双路反馈电路的静电力平衡回路有效提高该检测系统的线性度。结合硅微加速度计参数和电路设计参数,对加速度计系统进行了仿真,仿真结果显示系统稳定,刻度系数为0.9 V/gn 左右,带宽700 Hz左右。结合表头进行的精密转台实验结果表明该加速度计系统刻度系数0.88 V/gn,量程可达±13 gn。
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篇名
差分电容硅微加速度计检测电路研究?
来源期刊
传感技术学报
学科
工学
关键词
微加速度计
检测电路
差分电容
调制解调
年,卷(期)
2015,(3)
所属期刊栏目
传感器研究
研究方向
页码范围
347-351
页数
5页
分类号
V241.5|TP212
字数
2148字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1004-1699.2015.03.009
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
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G指数
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肖鹏
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王猛
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滕霖
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徐林鹏
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检测电路
差分电容
调制解调
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
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传感技术学报
主办单位:
东南大学
中国微米纳米技术学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-1699
CN:
32-1322/TN
开本:
大16开
出版地:
南京市四牌楼2号东南大学
邮发代号:
创刊时间:
1988
语种:
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
总被引数(次)
65542
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