差分电容硅微加速度计检测电路研究?

• 作者: 徐林鹏 滕霖 王猛 王玉朝 肖鹏
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 检测电路 差分电容 调制解调
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 347-351
• 页数: 5页
• 分类号: V241.5|TP212
• 字数: 2148字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.03.009

摘要

针对硅微加速度计中微小差分电容检测,提出了一种基于调制解调方法的闭环检测电路,介绍了该闭环检测系统的原理框图和实现途径。分析了基于单路载波的前置电容-电压( C-V)转换电路,证明了基于相关芯片的解调方法的有效性,其解调效率仅对开环输出有影响；基于双路反馈电路的静电力平衡回路有效提高该检测系统的线性度。结合硅微加速度计参数和电路设计参数,对加速度计系统进行了仿真,仿真结果显示系统稳定,刻度系数为0.9 V/gn 左右,带宽700 Hz左右。结合表头进行的精密转台实验结果表明该加速度计系统刻度系数0.88 V/gn,量程可达±13 gn。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖鹏		4	8	2.0	2.0
2	王猛		10	16	3.0	3.0
3	滕霖		7	28	4.0	5.0
4	徐林鹏		1	6	1.0	1.0
5	王玉朝		1	6	1.0	1.0