MEMS矢量水听器减振结构的设计与研究?

• 作者: 刘梦然 张国军 张文栋 简泽明 郭楠
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS矢量水听器 减振 阻尼材料 损耗因数 封装结构
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 336-341
• 页数: 6页
• 分类号: TP565.1
• 字数: 3438字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.03.007

摘要

在MEMS矢量水听器现有结构的基础上，设计出一种新型减振结构，期望利用该封装结构衰减水听器工作时安装平台的振动噪声，削弱安装平台振动对水听器测量精度的影响，提高水听器的抗噪能力。结合理论分析确定减振材料并采用有限元软件进行仿真，对矢量水听器先后采用原有封装结构和减振封装结构进行封装，并通过振动台实验和驻波桶灵敏度测试。测试结果表明：该结构可有效实现对MEMS矢量水听器干扰信号的衰减，同时基本不影响水听器的接收灵敏度。