表面微机械MEMS温度传感器研究?

• 作者: 刘庆海 黄见秋
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压阻效应 悬臂梁 表面微机械 温度传感器
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 325-329
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2899字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.03.005

摘要

提出一种基于表面微机械工艺的MEMS温度传感器,其基本原理是：由于材料热膨胀系数的差异,复合悬臂梁在热应力作用下发生弯曲,进而影响压阻单元中的应力分布,压阻变化通过惠斯登电桥读出,由电桥输出电压变化表征温度的变化。相比于其他温度传感器,这种微机械温度传感器的灵敏度高、尺寸小、精度高。针对提出的温度传感器结构,文中给出了传感器的设计原理、制备工艺以及信号检测电路的设计。经测试,传感器的灵敏度为9.2 mV/℃,具有良好的稳定性。