片上加热电容式湿度传感器研究?

• 作者: 陈文浩 黄见秋
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 湿度传感器 MEMS 电容式 加热特性
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 315-319
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.03.003

摘要

提出了一种集成加热结构的电容式湿度传感器结构。对传感器的稳态加热特性进行了分析,并利用红外线热成像技术对传感器加热过程以及稳态温度响应进行了研究。在5 V电压信号的加热下,传感器温度上升约30℃,且温度分布均匀,传感器敏感区域温差<4℃。在加热与不加热条件下,分别对传感器的湿度敏感特性与响应时间特性进行了测试。不加热时,传感器的灵敏度为0.00913 pF/%rH,回滞≈0.12 pF,响应时间约120.8 s；以5 V脉冲信号加热后,传感器灵敏度为0.00903 pF/%rH,最大回滞≈0.025 pF,响应时间约75.2 s。加热后传感器性能有了显著提高。