超薄光学元件精密加工关键技术

• 作者: 彭利荣 王东方 王飞 王高文 马占龙
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 超薄镜 精密铣磨 精密抛光 离子束精修 误差补偿
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 光学设计与工艺
• 页码范围: 964-970
• 页数: 7页
• 分类号: TQ171.684|TH161
• 字数: 1603字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20150806.0964

摘要

针对超薄光学元件在加工过程中因重力和磨头产生应力形变的特点，提出了一种高效、先进的超薄光学元件综合加工方法。该方法综合运用了精密铣磨、精密抛光、离子束修形等先进技术进行面形控制。在铣磨阶段采用受力分析和误差补偿的方法降低了元件变形引入的面形误差；在抛光阶段通过气囊抛光和沥青抛光的迭代实现了面形快速收敛；在离子束加工阶段充分利用其非接触、无应力的加工特点实现了高精度面形修正。实验选择径厚比为34（边长152 mm，厚度6.35 mm）的方形融石英材料进行加工实验。结果表明：在铣磨、抛光、修形阶段的各项指标都达到了精密光学元件的加工水平，最终的面形精度为 PV ＝25 nm，RMS ＝1.5 nm。该加工方法可以广泛应用于超薄光学元件的高精度加工。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马占龙	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	15	93	6.0	9.0
2	王东方	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	22	199	9.0	13.0
3	王飞	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	110	836	15.0	23.0
4	王高文	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	10	86	6.0	9.0
5	彭利荣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	4	21	2.0	4.0