基于支持向量机的半导体生产线动态调度方法

• 作者: 乔非 伍星浩 田阔 陈曦 马玉敏
• 来源期刊: 计算机集成制造系统
• 学科: 工学
• 关键词: 动态调度 特征选择 二进制粒子群优化算法 支持向量机
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 数字化/网络化/智能化制造技术
• 页码范围: 733-739
• 页数: 7页
• 分类号: TH166|TP278
• 字数: 6701字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13196/j.cims.2015.03.018

摘要

为了快速合理地选择调度策略,研究了一种半导体生产线动态调度策略选择方法.该方法以历史数据为基础,选取支持向量机为数据挖掘工具,采用二进制粒子群优化算法对生产属性(特征)子集进行寻优,获得基于支持向量机的动态调度策略分类模型.对于任意给定的生产状态,通过该模型,能实时地获取当前生产状态下近似最优的调度策略.在调度策略评价中,选用了基于功效函数与熵权法的多目标评价方法,以扩展该方法的应用范围.在某实际硅片生产线上验证了所提动态调度方法的有效性.