声光调Q CO2激光器的实验研究

• 作者: 何洋 李殿军 谢冀江 郑长彬 郭劲 陆君 陈飞
• 来源期刊: 红外与激光工程
• 学科: 工学
• 关键词: CO2激光器 声光调Q 重复频率 稳定性
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 笠激光技术及应用笠
• 页码范围: 2280-2285
• 页数: 6页
• 分类号: TN248.2
• 字数: 2951字
• 语种: 中文

摘要

为满足13.5 nm极紫外光刻(EUVL)等领域的应用需求，研制了高重复频率、高稳定性的声光调Q CO2激光器。首先，对声光Q开关的工作原理进行了分析，并实验研究了调制信号电压与衍射效率的关系。接着，研究了调制信号占空比对脉冲波形的影响，通过选择适当的占空比消去了脉冲拖尾。然后，对不同重复频率下的脉冲宽度、功率和脉冲幅值稳定性进行了测量和分析。最后，对激光器的光束指向稳定性进行了测量。实验结果表明：该激光器实现了重复频率1~100 kHz连续可调的脉冲输出，在重复频率1 kHz时，获得最小脉冲宽度252 ns和最大峰值功率7579 W的激光脉冲输出。通过设计以殷钢管为主体的支撑架，使得激光器的脉冲幅值不稳定性小于3%，光束指向稳定性为46.6μrad。该声光调Q CO2激光器可作为高性能种子源在EUVL等领域中得到应用。