关于MOCVD自动化云端系统开发的探讨

• 作者: 卢铃
• 来源期刊: 中国照明
• 学科: 工学
• 关键词: MOCVD 端系统 自动化 LED外延片 开发 生产成本 晶体生长过程 专业技术人员
• 年，卷（期）: zgzm_2015,（8）
• 页码范围: 70-72
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.23

摘要

MOCVD是LED外延片生产最为关键的设备，不仅决定LED产品的性能，也决定LED的生产成本。公司研发的MOCVD自动化云端系统可实现MocvD的配方修正、品质检测管理、制成品量测分析，将设备回馈的生产信息进行收集整理，建立完整的可回溯的生产档案，确保多MOCVD机台生产的外延片光均性、寿命等指标保持一致。取代长期延用的人工控制晶体生长过程，解决了专业技术人员匮乏、产品一致性低、合格率较难控制等问题。

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1	卢铃		1	0	0.0	0.0