低功耗聚合物MZI结构热光开关研究

• 作者: 孙健 孙静雯 张大明 曲禄成 王希斌 王艳双 王菲
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学器件 热光开关 集成光学材料 聚合物波导 马赫-曾德尔干涉仪
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 材料
• 页码范围: 151-155
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0706001

摘要

设计并制作了一种基于马赫-曾德尔干涉仪(MZI)结构的低功耗聚合物热光开关.聚合物材料具有低热导率和高热光系数的优点,可以有效降低热光器件的功耗.在SiO2衬底上,采用热光系数较大的Norland紫外固化胶(NOA73)作为波导芯层,聚甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸环氧丙酯的共聚物[P(MMA-GMA)]作为波导的上包层,设计了热光开关器件,并对光场和热场进行了模拟,采用传统的半导体工艺完成了热光开关器件的制备.器件的测试结果表明,在1550 nm工作波长下,热光开关器件的消光比为20.2 dB,驱动功率仅为9.14 mW,开关的上升时间为174 μs,下降时间为292μs.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙健		74	458	13.0	20.0
2	王菲		56	247	6.0	15.0
3	张大明		44	113	6.0	9.0
4	王希斌		11	6	2.0	2.0
5	孙静雯		2	0	0.0	0.0
6	曲禄成		3	0	0.0	0.0
7	王艳双		1	0	0.0	0.0