基于二次优化策略的约束环内稀薄气体粘度修正

• 作者: 冯涓 武园浩 段文睿 韩文彬
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 粘度修正 努森数 稀薄气体 二次优化
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 38-43
• 分类号: TN405.98
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.01.08

摘要

针对传统基于连续流假设的N-S方程无法准确描述约束环内稀薄气体问题,采取二次优化策略,确定了CFD-ACE+中基于努森数的粘度修正公式参数a、b的最优值分别为0.12和1.40.对约束环内气体流动进行模拟仿真,结果表明:利用本文中的粘度修正公式,可以使约束环内稀薄气体的模拟仿真结果与实验测量值相一致,该公式在较宽的入口流量范围(200～ 2000mL/min之间)内应用均可控制仿真结果的相对偏差在±3％之内,其精度满足实际工程需要;并且,获得粘度修正公式参数的方法同样适用其它微通道内稀薄气体的研究,对相同工况下类似刻蚀腔室内气流仿真、新机型设计等亦有很大的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武园浩	清华大学机械工程系	8	8	2.0	2.0
2	冯涓	清华大学精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室	16	166	5.0	12.0
3	段文睿	清华大学精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室	5	34	2.0	5.0
4	韩文彬	清华大学机械工程系	3	2	1.0	1.0