一种新型SAW气体传感器的设计

• 作者: 唐永亮 张静雯 杜波 杨靖 江洪敏 王登攀 王露 鄢秋娟
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 纳米线 气体传感器 比表面积 灵敏度
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TN65
• 字数: 1875字
• 语种: 中文

摘要

提出了将纳米线技术与声表面波(SAW)技术相结合,分别利用纳米线气体敏感材料比表面积高,声表面波传感器质量敏感性高的优点,探索研制新一代声表面波气体传感器.该传感器具有响应速度快,灵敏度高,体积小,质量注和易集成等优点.该文主要从SAW专用芯片的研制、专用纳米线研制、专用纳米线的表面修饰与改性研究、检测电路设计等4方面进行了阐述.理论计算表明,相比传统二维结构的SAW气体传感器,三维纳米线结构的SAW气体传感器的在灵敏度和响应速度上都得到提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜波		21	54	4.0	5.0
2	王露		14	39	4.0	5.0
3	杨靖		15	48	5.0	6.0
4	张静雯		7	16	2.0	4.0
5	王登攀		10	33	4.0	5.0
6	鄢秋娟		3	6	2.0	2.0
7	唐永亮	电子科技大学物理电子学院	1	4	1.0	1.0