行星周转镀膜装置设计

• 作者: 何英杰 王展 高晓生
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 摩擦轮行星组件 镀膜系统 行星周转镀膜装置
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 44-48
• 分类号: TH132
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.01.09

摘要

针对现有的蒸镀圆柱形腔体杜瓦镀膜工艺存在工艺繁琐、膜层不均匀等问题,设计了行星周转镀膜装置.该转台针对镀膜机内特殊环境特点,采用摩擦行星轮组设计,优选材料,优化结构,对标准件进行特殊处理,最终实现行星周转镀膜装置的无污染、重量轻、负载小、运转稳定、方便清洁、易于调整等要求.该行星周转镀膜装置的使用,使圆柱形腔杜瓦在公转时实现自传,实现圆柱形腔杜瓦的一次蒸镀,克服原有的三次平面蒸镀带来的问题.试验结果表明:杜瓦镀金引线膜层在粘附性、均匀性等关键指标上均优于原蒸镀方式,在实现产品质量提高的同时,降低了生产成本,提高了生产效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高晓生		2	2	1.0	1.0
2	何英杰		8	21	3.0	4.0
3	王展		2	4	2.0	2.0