光纤石英玻璃基板微V槽阵列的精密磨削

• 作者: 冯彦科 吴可可 程剑 谢晋
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤石英玻璃 光纤阵列 微V槽 微磨削 金刚石砂轮 微尖端 耦合损耗
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2243-2249
• 页数: 7页
• 分类号: TQ171.731|TN305.2
• 字数: 3101字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152308.2243

摘要

针对脆性石英玻璃的微加工,利用自主研发的金刚石砂轮微尖端修整工艺,研发了光纤阵列石英玻璃微V槽磨削技术.分析了60°的微V槽形状偏差对光纤耦合损耗的影响,然后,研究了砂轮微尖端的误差补偿修整工艺.最后,实验分析了微V槽的磨削精度.理论分析显示:微V槽角度、间距和宽度的偏差分别控制在±0.42°、±1.04 μm和±1.2μm以内时,耦合损耗小于0.5 dB.实验结果表明:开发的数控磨削工艺可加工高精度的60°微V槽阵列;采用数控轨迹和角度补偿修整后,砂轮微尖端半径可平均达到10.46 μm,角度精度为(60±0.22)°;对石英玻璃进行微磨削后,微V槽的角度偏差达到0.4°,尖端半径为10.5 μm,宽度偏差为0.3 μm,间距偏差为0.5 μm,可保证光纤阵列的精密对接.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢晋	华南理工大学机械与汽车工程学院	33	406	12.0	19.0
2	吴可可	华南理工大学机械与汽车工程学院	4	77	4.0	4.0
3	冯彦科	华南理工大学机械与汽车工程学院	2	11	1.0	2.0
4	程剑	华南理工大学机械与汽车工程学院	2	21	2.0	2.0