还原炉钟罩镜面抛光对多晶硅生产节能的影响

• 作者: 李文强 王琪 王秉琳
• 来源期刊: 电镀与涂饰
• 学科: 工学
• 关键词: 还原炉 钟罩 镜面抛光 多晶硅 生产 节能
• 年，卷（期）: 2015,（24）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 1415-1419,后插1
• 页数: 6页
• 分类号: TG175
• 字数: 2524字
• 语种: 中文

摘要

采取机械抛光与电化学抛光相结合的方法,对多晶硅生产用还原炉钟罩内壁进行修复处理,在保证还原炉内壁表面较好粗糙度的基础上,提高其抗腐蚀能力,以达到最好的抛光效果.抛光后大大提高了电子级多晶硅生产的节电率,缩短了生产周期,降低了运行成本,节能效果显著.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王琪		2	3	1.0	1.0
2	李文强		1	1	1.0	1.0
3	王秉琳		1	1	1.0	1.0