调制周期对Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜性能的影响

• 作者: 代明江 侯惠君 周克崧 李福球 林松盛 石倩 胡芳 韦春贝
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜 调制周期 真空阴极电弧沉积 冲蚀
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 114-118
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.01.21

摘要

采用真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面沉积同等厚度的三种不同调制周期Ti-TiN-Zr-ZrN软硬交替多层膜.用扫描电镜、显微硬度计、结合力划痕仪和砂粒冲刷试验仪分析测试了多层膜的厚度、表面及截面形貌、硬度、膜/基结合力和抗砂粒冲蚀磨损性能等;重点研究了调制周期的改变对多层膜性能的影响.结果表明:随着周期数的增加,单一调制周期变薄,膜层中金属“液滴”颗粒等缺陷减少,同时也增加了大量的层间界面;层界面之问反复形核,晶粒细化,有利于多层膜表面光洁度、致密度、硬度、结合力和抗砂粒冲蚀能力的改善.