厚度对Mg-Sn共掺ZnO薄膜结构和光电性能的影响

• 作者: 刘细妹 张志明 徐斌 胡克艳 胡跃辉 陈义川
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶凝胶法 Mg-Sn共掺ZnO 厚度 电阻率 透过率
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 页码范围: 95-100,114
• 页数: 7页
• 分类号: O484
• 字数: 3697字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶凝胶(Sol-Gel)旋涂法在抛光石英衬底上制备不同厚度Mg-Sn共掺的ZnO薄膜.用XRD、SEM、UV-Vis、PL、FT-IR光谱仪和四探针等对薄膜的微观结构、表面形貌、室温光致发光及光电特性进行表征.薄膜结构分析显示样品均沿c轴高度择优取向,呈六角纤锌矿晶体结构,随着膜厚的增加,薄膜结晶度明显提高,薄膜晶粒尺寸逐渐增大.由SEM照片观察到,厚度的增加明显促进了薄膜表面颗粒生长的均匀性与致密性.由光致发光谱表明:厚度增加,薄膜的本征发光峰增强且均出现较强的紫外发光峰和蓝光发光峰.FT-IR结果显示780 nm厚的薄膜在高波数区域红外吸收明显比320 nm和560 nm弱.薄膜电阻率随厚度增加由1.4×10-2 Ω·cm减小至2.6×10-3Ω·cm,且薄膜透过率均保持在90％左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡跃辉	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	54	127	6.0	8.0
2	陈义川	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	38	96	6.0	7.0
3	胡克艳	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	17	38	4.0	5.0
4	刘细妹	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	11	28	4.0	5.0
5	徐斌	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	10	28	4.0	5.0
6	张志明	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	10	24	3.0	4.0