大功率VCSEL三角列阵的空间相干性

• 作者: 宁永强 张星 李秀山 王立军 秦莉 贾鹏 陈泳屹 韩振伟
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: VCSEL三角形列阵 光束质量 空间相干特性
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 673-678
• 页数: 6页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2743字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20153606.0673

摘要

由厄米-高斯光束理论和空间相干性定理出发,研究了大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)三角形列阵器件的光束质量和空间相干特性.采用二阶距法和空间相干度积分法得到980 nm波段VCSEL三角列阵器件的远场发散角和空间相干度,并讨论了列阵器件单元间距对其远场特性和空间相干特性的影响.实验结果表明:当三角列阵单元孔径为150 μm时,随着列阵单元间距由200 μm增大到300 μm,列阵器件的远场发散角由9.5°增加到12.5°,而其空间相干度由0.719减小到0.526.在相同注入电流条件下,3种列阵器件的出光功率基本相同.