基于TP WL方法的MEMS热微执行器的热电耦合宏建模?

• 作者: 刘莹 常洪龙 苑伟政
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微执行器 宏建模 轨迹分段线性化 热电耦合 非线性
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 455-461
• 页数: 7页
• 分类号: TH703
• 字数: 4733字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.04.001

摘要

本文给出了一种基于轨迹分段线性化TPWL( Trajectory Piecewise-Linear)方法的非线性热电耦合宏建模技术。首先建立了MEMS热微执行器的三维非线性热电耦合模型，并采用有限元方法对其进行空间离散，然后利用新的基于全局最大误差控制的线性化点选择算法获得一组线性化点，最后使用TPWL方法构造MEMS热微执行器的热电耦合宏模型。以平板式热微执行器为例，研究了宏模型的精度、效率及可扩展性。与全模型仿真结果进行比较，宏模型仿真结果的相对误差可达到0.036%，加速比可达到100倍以上。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苑伟政	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	70	351	10.0	14.0
2	刘莹	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	7	42	5.0	6.0
3	常洪龙	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	25	112	6.0	10.0