辐射换热对悬空微器件温度的影响

• 作者: 朱林 杨决宽 赵扬
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 一维纳米结构 导热系数 热桥法 辐射换热
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 1352-1355
• 分类号: TK121
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.11.13

摘要

基于悬空微器件法的一维纳米结构热物性测量技术在纳尺度传热研究中得到了广泛的应用.为了研究辐射换热给这类实验测试带来的误差,本文在20～360K温度范围内测试了低温恒温器中遮热罩的个数对悬空微器件热源/热沉和基底温度的影响.研究结果表明:在没有加热电流的情况下,使用三层遮热罩时,热源/热沉温度和基底温度的差异可以忽略;采用两层遮热罩时,热源/热沉温度同基底温度最多差0.4 K;只使用一层遮热罩时,辐射换热使得360K时热源/热沉温度比基底温度低11.8 K.因此,为了降低辐射换热对实验结果的影响,低温恒温器中至少应该使用2个遮热罩.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨决宽	东南大学江苏省微纳生物医疗器械设计与制造重点实验室	27	150	9.0	11.0
2	朱林	东南大学江苏省微纳生物医疗器械设计与制造重点实验室	54	234	8.0	14.0
3	赵扬	东南大学江苏省微纳生物医疗器械设计与制造重点实验室	8	33	3.0	5.0