一种真空离子溅射镀膜设备控制软件的设计

• 作者: 王兴 王静辉 白雪
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: 离子束溅射技术 真空镀膜 控制软件 指令集 重构
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 软件工程技术
• 页码范围: 2896-2899,2907
• 页数: 5页
• 分类号: TP273.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.16526/j.cnki.11-4762/tp.2015.08.085

摘要

目前国内外的真空离子镀膜控制软件,都不具有重构功能,导致设备的功能有限,也不能任意修改镀膜程序,且自动化程度也不高;针对这种情况,设计了一种控制软件,以工业计算机为核心,使用Visual Basic.net编程语言编制软件,采用专家系统结构,在Windows操作系统环境下,通过计算机标准接口,控制真空设备中各种常用的部件,可根据产品的需求灵活配置真空镀膜设备;建立了控制指令集,可支持用户自选的光学膜厚仪,具有自主编程功能,可按不同工艺重构镀膜程序;该控制软件已经成功的应用于真空离子溅射镀膜设备,实现了计算机对镀膜设备的自动化智能控制,以及镀膜过程的24小时无人值守.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王兴	太原科技大学计算机科学与技术学院	34	115	6.0	10.0