基于微透镜阵列的半导体激光器堆栈匀化系统

• 作者: 孙秀辉 尹韶云 殷智勇 汪岳峰 雷呈强
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光光学 半导体激光器堆栈 微透镜阵列 光束匀化 光斑均匀性
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 50-57
• 页数: 8页
• 分类号: TN248.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0502009

摘要

半导体激光器由于自身波导结构的不对称性导致光强分布不均匀而限制了其应用,为了对半导体激光光束进行整形以获得均匀光斑,设计了一种基于微透镜阵列的半导体激光器堆栈匀化系统.分析了微透镜阵列对半导体激光的匀化原理和光束匀化过程,通过分析微透镜边缘衍射对匀化光斑影响确定了微透镜孔径范围,采用近轴矩阵光学推导了目标光斑发散角.结合实例对微透镜阵列光束匀化系统进行了仿真和实验验证,实现了均匀性为91.89％的均匀光斑.